半導體工藝設備為半導體大規模制造提供制造基礎。摩爾定律，給電子業描繪的前景，必將是未來半導體器件的集成化、微型化程度更高，功能更強大。這里先介紹半導體工藝的頭道工序——單晶體拉胚的單晶爐。

　　單晶爐

　　單晶爐，全自動直拉單晶生長爐，是一種在惰性氣體（氮氣、氦氣為主）環境中，用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生長無錯位單晶的設備。

　　單晶硅爐型號有兩種命名方式，一種為投料量，一種為爐室直徑。比如120、150等型號是由投料量決定，85爐則是指主爐筒的直徑大小。

　　單晶硅爐的主體構成由主機、加熱電源和計算機控制系統三大部分組成。